例舉雙大馬士革金屬化過程的10個步驟。

刻蝕工藝有哪兩種類型？簡單描述各類刻蝕工藝。

解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的？掃描投影光刻機努力解決什么問題？

什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。

什么是阻擋層金屬？阻擋層材料的基本特征是什么？哪種金屬常被用作阻擋層金屬？

給出投影掩模板的定義。投影掩模板和光掩模板的區(qū)別是什么？

解釋光刻膠顯影。光刻膠顯影的目的是什么？

描述化學機械平坦化工藝。

描述RF濺射系統(tǒng)。