工業(yè)機器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

離子濺射泵的特點是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

步進(jìn)電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

（）又稱“島式加工單元”。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？