問答題

【簡答題】低壓化學氣相沉積有哪些優(yōu)點?

答案:優(yōu)點:1.晶體生長或成膜的質量好
2.沉積溫度低,便于控制
3.可使沉積襯底的表面積擴大,提高沉積效...
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