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【簡(jiǎn)答題】比較整版掩模和單片掩模的區(qū)別,并列舉三種掩模的制造方法。
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【簡(jiǎn)答題】掩模在IC制造過(guò)程中有什么作用?
答案:
任何半導(dǎo)體器件及IC都是一系列相聯(lián)系的基本單元的組合,如導(dǎo)體、半導(dǎo)體及在基片不同層上形成的不同尺寸的隔離材料等。要制作出...
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【簡(jiǎn)答題】解釋?zhuān)和|(zhì)外延、異質(zhì)外延。
答案:
外延生長(zhǎng)時(shí),當(dāng)襯底與外延層為同種材料時(shí)稱(chēng)為同質(zhì)外延,同質(zhì)外延的目的是形成具有不同摻雜種類(lèi)及濃度的晶體層,因而它可以具有不...
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