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問答題
【簡答題】解釋：同質(zhì)外延、異質(zhì)外延。
答案：
外延生長時(shí)，當(dāng)襯底與外延層為同種材料時(shí)稱為同質(zhì)外延，同質(zhì)外延的目的是形成具有不同摻雜種類及濃度的晶體層，因而它可以具有不...
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問答題
【簡答題】試述晶體外延的意義，列出三種外延方法。
答案：
晶體外延的意義是：用同質(zhì)材料形成具有不同摻雜種類及濃度，因而具有不同性質(zhì)的晶體層。
晶體外延的方法主要有：氣相...
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問答題
【簡答題】什么叫硅的熱氧化？有哪幾種熱氧化技術(shù)？
答案：
硅的熱氧化法是指硅與氧或水汽，在高溫下經(jīng)化學(xué)反應(yīng)生成SiO2。根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為干氧氧...
