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問答題
【簡答題】解釋:同質(zhì)外延、異質(zhì)外延。
答案:
外延生長時(shí),當(dāng)襯底與外延層為同種材料時(shí)稱為同質(zhì)外延,同質(zhì)外延的目的是形成具有不同摻雜種類及濃度的晶體層,因而它可以具有不...
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【簡答題】試述晶體外延的意義,列出三種外延方法。
答案:
晶體外延的意義是:用同質(zhì)材料形成具有不同摻雜種類及濃度,因而具有不同性質(zhì)的晶體層。
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問答題
【簡答題】什么叫硅的熱氧化?有哪幾種熱氧化技術(shù)?
答案:
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。根據(jù)氧化劑的不同,熱氧化可分為干氧氧...
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