工業(yè)機器人更新轉數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

應用在真空中的各式材料包括（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

工業(yè)機器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。