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填空題
擴散系統(tǒng)主要有以下四部分組成：（）
答案：
爐體與爐管、氣體系統(tǒng)、溫度和氣源控制系統(tǒng)、裝片系統(tǒng)
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填空題
擴散分布的主要測量方法有：（）。
答案：
四探針測電阻率、擴展電阻測載流子分布、霍爾效應測電阻率、染色法測結(jié)深、二次離子質(zhì)譜測雜質(zhì)分布、盧瑟福背散射測重雜質(zhì)分布
填空題
擴散的目的是為了實現(xiàn)對半導體摻雜，雜質(zhì)擴散的深度與（）有關(guān)，服從（）。雜質(zhì)擴散通常分為等表面濃度擴散，也（），和固定雜質(zhì)總量擴散，也稱（）。預淀積的分布是（）函數(shù)，再分布擴散的雜質(zhì)呈（）函數(shù)分布。
答案：
雜質(zhì)濃度梯度、擴散溫度、擴散時間；費克定律；預淀積；再分布擴散；余誤差；高斯
