問答題
假設(shè)某項(xiàng)化學(xué)氣相淀積工藝受反應(yīng)速率控制,在700 ℃和800 ℃時(shí)的淀積速率分別為500Å/min和2000Å/min,請計(jì)算在900℃下的淀積速率是多少?實(shí)際測量發(fā)現(xiàn)900℃下淀積速率遠(yuǎn)低于計(jì)算值,說明什么?怎樣證明?(化學(xué)氣相淀積的反應(yīng)速率常數(shù))
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4.多項(xiàng)選擇題對于CMOS晶體管,要得到良好受控的閾值電壓,需要控制()等工藝參數(shù)。
A.氧化層厚度;
B.溝道中摻雜濃度;
C.金屬半導(dǎo)體功函數(shù);
D.氧化層電荷。
5.單項(xiàng)選擇題離子注入過程是一個(gè)非平衡過程,高能離子進(jìn)入靶后不斷與原子核及其核外電子碰撞,逐步損失能量,最后停下來。停下來的位置是隨機(jī)的,大部分不在晶格上,因而沒有()。
A. 電活性
B. 晶格損傷
C. 橫向效應(yīng)
D. 溝道效應(yīng)
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