ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

離子濺射泵的特點是什么（）？

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。