廢氣自動監(jiān)測設(shè)備比對監(jiān)測項目為煙氣溫度、煙氣流速、氧含量和污染物折算濃度（顆粒物、二氧化硫、氮氧化物）。

廢氣CEMS比對監(jiān)測時，氣態(tài)污染物參比方法采樣位置與CEMS測定位置靠近但不干擾CEMS正常取樣，也可以從CEMS排氣裝置處直接采樣監(jiān)測。

自動監(jiān)測設(shè)備比對監(jiān)測時，參比方法使用的煙氣分析儀必須每次現(xiàn)場使用標(biāo)準(zhǔn)氣體檢查準(zhǔn)確度，并記錄現(xiàn)場校驗值，若儀器校正示值偏差不高于±10%，則為合格。

根據(jù)《水泥工業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 4915-2004），水泥廠顆粒物、氨無組織排放監(jiān)控點設(shè)在廠界外20米處。

《環(huán)境空氣 半揮發(fā)性有機(jī)物采樣技術(shù)導(dǎo)則》（HJ 691-2014）對于中流量和大流量的采樣常用的吸附劑為密度0.022g/cm3氨基甲酸酯泡沫（簡稱PUF）、大孔樹脂或兩種吸附劑的組合。