名詞解釋

化學(xué)氣相沉積

答案：化學(xué)氣相沉積是利用氣態(tài)物質(zhì)在固態(tài)工件表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)沉積物的過程。
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