應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

從外圍設(shè)備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。