問答題

【簡答題】離子注入后為何退火？

答案： 因為大部分注入的離子并不是以替位形式處在晶格點陣位置上，而是處于間隙位置，無電活性，一般不能提供導電性能，所以離子注入后...
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【簡答題】離子注入后退火的作用是什么？
答案：

作用是激活注入的離子，恢復遷移率及其他材料參數(shù)。
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【簡答題】什么是離子注入損傷？
答案：

離子注入損傷，是指獲得很大動能的離子直接進入半導體中造成的一些晶格缺陷。
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