問答題

【簡答題】離子注入后退火的作用是什么?

答案:

作用是激活注入的離子,恢復(fù)遷移率及其他材料參數(shù)。

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【簡答題】什么是離子注入損傷?

答案:

離子注入損傷,是指獲得很大動(dòng)能的離子直接進(jìn)入半導(dǎo)體中造成的一些晶格缺陷。

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【簡答題】有哪些損傷類型?

答案:

損傷類型:空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結(jié)構(gòu)損傷。

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