問答題

【簡答題】硅柵工藝有哪些優(yōu)點?

答案:

自對準無需重疊設(shè)計減小了電容提高了速度減小了柵、源、漏極尺寸增加集成度;增加電路可靠性

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問答題

【簡答題】什么是自對準技術(shù)?

答案:

將兩次MASK步驟合為一次,讓D,S和G三個區(qū)域一次成形

問答題

【簡答題】鋁柵重疊設(shè)計方法雖然可解決鋁柵MOS工藝的缺點,但還存在哪些缺點?

答案:

CGS、CGD都增大了;柵極增長,管子尺寸變大,集成度降低。

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