問答題

【簡答題】鋁柵重疊設(shè)計方法雖然可解決鋁柵MOS工藝的缺點，但還存在哪些缺點？

答案：

CGS、CGD都增大了；柵極增長，管子尺寸變大，集成度降低。
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問答題

【簡答題】鋁柵MOS工藝的缺點是什么？
答案：

制造源、漏極與制造柵極采用兩次掩膜步驟，不容易對齊
問答題

【簡答題】MOS工藝包括有哪幾種？MOS工藝的重要參數(shù)是什么？什么是特征尺寸？
答案：

PMOS、NMOS、COMS、BiCMOS
溝道載流子特性、柵極材料、金屬層數(shù)、特征尺寸工藝可以實現(xiàn)的平面結(jié)構(gòu)的最小尺寸
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