填空題

并行工程的特征為（），（），（），（）。

答案： 并行；整體；協(xié)同；集成
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填空題

柔性制造系統(tǒng)的組成包括：（），（），（）和一套計算機控制系統(tǒng)。
答案： 加工系統(tǒng)；工件運儲系統(tǒng)；刀具運儲系統(tǒng)
填空題

大規(guī)模集成電路的微細制作方法有（），（），（），（），（）。
答案： 延生長技術(shù)；氧化；光刻；選擇擴散；真空鍍膜
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