填空題

柔性制造系統的組成包括：（），（），（）和一套計算機控制系統。

答案：加工系統；工件運儲系統；刀具運儲系統

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大規(guī)模集成電路的微細制作方法有（），（），（），（），（）。

答案：延生長技術；氧化；光刻；選擇擴散；真空鍍膜

常用的看板有（），（）兩種。

答案：傳送看板；生產看板