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濺射是個(gè)化學(xué)過程,而非物理過程。
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傳統(tǒng)互連金屬線的材料是鋁,即將取代它的金屬材料是銅。
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關(guān)鍵層是指那些線條寬度被刻蝕為器件特征尺寸的金屬層。
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