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填空題

電池高效率化技術(shù)說明已被規(guī)模生產(chǎn)所采用的（）及BSF結(jié)構(gòu)。

答案：材料蝕刻

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涂層擴散法是用含有磷的溶液代替（）進行（）和加熱，使磷向硅片中擴散形成pn結(jié)，具有簡單易于大型化生產(chǎn)的優(yōu)點。

答案：氣體；涂層

氣體擴散法是將含（）的氣體在高溫下向硅片進行擴散，形成（），一般都用這一方法。

答案：磷；pn結(jié)