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填空題
涂層擴(kuò)散法是用含有磷的溶液代替（）進(jìn)行（）和加熱，使磷向硅片中擴(kuò)散形成pn結(jié)，具有簡(jiǎn)單易于大型化生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。
答案：
氣體；涂層
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