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【簡(jiǎn)答題】試述曝光時(shí)間對(duì)設(shè)計(jì)的圖形的影響。
答案:
曝光時(shí)間對(duì)設(shè)計(jì)圖形的影響主要是:若曝光時(shí)間較長(zhǎng),對(duì)于正性光刻膠則得到的圖形實(shí)際尺寸比預(yù)先設(shè)計(jì)的可能要小;對(duì)于負(fù)性光刻膠情...
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答案:
涂光刻膠,曝光,顯影,腐蝕,去光刻膠。
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