問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】說(shuō)明RCA清洗硅片的方法,SC-1和SC-2的配方特點(diǎn)

答案:SC-1去除有機(jī)殘余物,金屬 
SC-2去除堿金屬離子,氫氧根。 
根據(jù)不同的應(yīng)...
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