單項(xiàng)選擇題銅互連金屬多層布線中，磨料的粒徑一般為（）。
A.5~10nm
B.20~30nm
C.50~80nm
D.100~200nm
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1.單項(xiàng)選擇題在酸性漿料中，最常使用的氧化劑為（）。
A.硝酸
B.硝酸銅
C.硫酸
D.磺酸
2.單項(xiàng)選擇題在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金屬表面上形成軟質(zhì)皮膜并加以去除的趨勢(shì)。
A.二氧化錳
B.鋁
C.氧化鉻
D.金剛石
3.單項(xiàng)選擇題金相學(xué)的研磨之所以會(huì)在研磨面上造成如刮傷般的痕跡是由于在制程中（）。
A.氧化鉻磨料溶水制成的研磨液
B.使用羊毛研磨墊
C.采用旋轉(zhuǎn)研磨墊加壓的方法
D.無(wú)法必免的機(jī)械損耗
4.多項(xiàng)選擇題在對(duì)層間絕緣膜進(jìn)行CMP時(shí)，層間絕緣膜的表面會(huì)隨下列那些因素產(chǎn)生變化（）。
A.電路圖形結(jié)構(gòu)的凹凸
B.尺寸大小
C.位置分布
D.高度
E.密集程度
5.多項(xiàng)選擇題直流二極管輝光放電系統(tǒng)是由（）構(gòu)成。
A.抽真空的玻璃管
B.抽真空后再充入某種低壓氣體的玻璃管
C.兩個(gè)電極
D.加速器
E.增益管
最新試題
解決金屬鋁與襯底之間肖特基接觸的方法有（）。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
（）可以通過(guò)帶電粒子在盛場(chǎng)作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。
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通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應(yīng)用于（）
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一般情況下，刻蝕完成后需要進(jìn)行的操作是（）
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環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設(shè)定于（）。
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
電子束蒸發(fā)中有一個(gè)特殊的部件是（）
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說(shuō)明功能檢測(cè)工裝的制作原理？
題型：?jiǎn)柎痤}
金屬薄膜制備中常見(jiàn)的濺射方式有（）
題型：多項(xiàng)選擇題
傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）
題型：多項(xiàng)選擇題
根據(jù)曝光模式，光制機(jī)的種類分為（）。
題型：多項(xiàng)選擇題