多項選擇題直流二極管輝光放電系統(tǒng)是由（）構(gòu)成。

A.抽真空的玻璃管
B.抽真空后再充入某種低壓氣體的玻璃管
C.兩個電極
D.加速器
E.增益管


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2.多項選擇題從電極的結(jié)構(gòu)看，濺射的方法包括（）。

A.直流濺射
B.交流濺射
C.二級濺射
D.三級濺射
E.四級濺射

3.多項選擇題濺射的方法非常多其中包括（）。

A.直流濺射
B.交流濺射
C.反應(yīng)濺射
D.二級濺射
E.三級濺射

4.多項選擇題一般來說，濺射鍍膜的過程包括（）這幾步。

A.產(chǎn)生一個離子并導向靶
B.被轟擊的原子向硅晶片運動
C.離子把靶上的原子轟出來
D.經(jīng)過加速電場加速
E.原子在硅晶片表面凝結(jié)

5.單項選擇題（）是指每個入射離子濺射出的靶原子數(shù)。

A.濺射率
B.濺射系數(shù)
C.濺射效率
D.濺射比