單項(xiàng)選擇題

在生產(chǎn)過(guò)程中必須使用()來(lái)完成淺溝槽隔離STI。

A.單晶硅刻蝕
B.多晶硅刻蝕
C.二氧化硅刻蝕
D.氮化硅刻蝕

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