單項(xiàng)選擇題光刻工藝中，脫水烘焙的最初溫度是（）。

A.150－200℃
B.200℃左右
C.250℃左右
D.300℃左右


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1.多項(xiàng)選擇題在深紫外曝光中，需要使用CA光刻膠，它的優(yōu)點(diǎn)在于（）。

A.CA光刻膠對深紫外光吸收小
B.CA光刻膠將吸收的光子能量發(fā)生化學(xué)轉(zhuǎn)化
C.CA光刻膠在顯影液中的可溶性強(qiáng)
D.有較高的光敏度
E.有較高的對比度

2.單項(xiàng)選擇題在深紫外曝光中，需要使用（）光刻膠。

A.DQN
B.CA
C.ARC
D.PMMA

3.單項(xiàng)選擇題在深紫外曝光中，需要使用CA光刻膠，CA的含義是（）。

A.化學(xué)增強(qiáng)
B.化學(xué)減弱
C.厚度增加
D.厚度減少

4.多項(xiàng)選擇題關(guān)于正膠和負(fù)膠的特點(diǎn)，下列說法正確的是（）。

A.正膠在顯影時不會發(fā)生膨脹，因此分辨率高于負(fù)膠
B.正膠的感光區(qū)域在顯影時不溶解，負(fù)膠的感光區(qū)域在顯影時溶解
C.負(fù)膠在顯影時不會發(fā)生膨脹，因此分辨率不會降低
D.正膠的感光區(qū)域在顯影時易溶解，負(fù)膠的感光區(qū)域在顯影時難溶解
E.負(fù)膠在顯影時會發(fā)生膨脹，導(dǎo)致了分辨率的降低

5.多項(xiàng)選擇題關(guān)于正膠和負(fù)膠在顯影時的特點(diǎn)，下列說法正確的是（）。

A.負(fù)膠的感光區(qū)域溶解
B.正膠的感光區(qū)域溶解
C.負(fù)膠的感光區(qū)域不溶解
D.正膠的感光區(qū)域不溶解
E.負(fù)膠的非感光區(qū)域溶解