填空題

半導(dǎo)體中的離子注入摻雜是把摻雜劑()加速到的需要的(),直接注入到半導(dǎo)體晶片中,并經(jīng)適當(dāng)溫度的()。

答案: 離子;能量;退火處理
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填空題

離子注入是借其()強(qiáng)行進(jìn)入靶材料中的一個(gè)()物理過程。

答案: 動(dòng)能;非平衡
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