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填空題
半導(dǎo)體中的離子注入摻雜是把摻雜劑()加速到的需要的(),直接注入到半導(dǎo)體晶片中,并經(jīng)適當(dāng)溫度的()。
答案:
離子;能量;退火處理
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填空題
離子注入是借其()強(qiáng)行進(jìn)入靶材料中的一個(gè)()物理過程。
答案:
動(dòng)能;非平衡
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填空題
外延生長方法比較多,其中主要的有()外延、()外延、金屬有機(jī)化學(xué)氣相外延、分子束外延、()、固相外延等。
答案:
化學(xué)氣相;液相;原子束外延
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