單項(xiàng)選擇題從離子源引出的是:()
A、原子束
B、分子束
C、中子束
D、離子束
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1.單項(xiàng)選擇題離子注入層的雜質(zhì)濃度主要取決于離子注入的()。
A.能量
B.劑量
2.單項(xiàng)選擇題離子注入層的深度主要取決于離子注入的()。
A.能量
B.劑量
3.多項(xiàng)選擇題硅外延片的應(yīng)用包括()。
A.二極管和三極管
B.電力電子器件
C.大規(guī)模集成電路
D.超大規(guī)模集成電路
4.多項(xiàng)選擇題硅外延生長(zhǎng)工藝包括()。
A.襯底制備
B.原位HCl腐蝕
C.生長(zhǎng)溫度,生長(zhǎng)壓力,生長(zhǎng)速度
D.尾氣的處理
5.單項(xiàng)選擇題位錯(cuò)的形成原因是()。
A.位錯(cuò)就是由彈性形變?cè)斐傻?br />
B.位錯(cuò)就是由重力造成的
C.位錯(cuò)就是由范性形變?cè)斐傻?br />
D.以上答案都不對(duì)
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