a.離子束刻蝕、激光刻蝕 b.干法刻蝕、濕法刻蝕 c.濺射加工、直寫加工
a.氣壓傳動機器人 b.液壓傳動機器人 c.電器傳動機器人 d.智能機器人
a.體刻蝕加工對基體材料進行加工,而面刻蝕加工不對襯底材料進行加工; b.體刻蝕加工不對基體材料進行加工,而面刻蝕加工對襯底材料進行加工; c.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu),而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu);