a.氣壓傳動(dòng)機(jī)器人 b.液壓傳動(dòng)機(jī)器人 c.電器傳動(dòng)機(jī)器人 d.智能機(jī)器人
a.體刻蝕加工對(duì)基體材料進(jìn)行加工,而面刻蝕加工不對(duì)襯底材料進(jìn)行加工; b.體刻蝕加工不對(duì)基體材料進(jìn)行加工,而面刻蝕加工對(duì)襯底材料進(jìn)行加工; c.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu),而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu);
A.電子束曝光技術(shù) B.離子束曝光技術(shù) C.X射線曝光技術(shù)