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填空題

濕法腐蝕的特點(diǎn)是（）、（）、（）、（）。

答案：選擇比高；工藝簡(jiǎn)單；各向同性；線(xiàn)條寬度難以控制

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濕法腐蝕Si所用溶液有（）、（）等，腐蝕SiO₂常用的腐蝕劑是（），腐蝕Si₃N₄常用的腐蝕劑是（）。

答案：硝酸-氫氟酸-醋酸（或水）混合液；KOH溶液；HF溶液；磷酸

控制濕法腐蝕的主要參數(shù)有（）、（）、（）、（）等。

答案：腐蝕液濃度；腐蝕時(shí)間；腐蝕液溫度；溶液的攪拌方式