激光光源、干涉系統(tǒng)、光電顯微鏡、干涉信號處理部分。
如圖所示是雙縱模雙頻激光干涉儀的原理示意圖
半導體受光照,產生電子-空穴對,在結電場作用下,空穴流向P區(qū),電子流向N區(qū),在結區(qū)兩邊產生勢壘的效應。