1、機器人的智能化 2、機器人的多機協(xié)調(diào)化 3、機器人的標準化 4、機器人的模塊化 5、機器人的微型化
超微機械加工、光刻加工、體刻蝕加工、面刻蝕加工、LIGA技術(shù)、封接技術(shù)、分子裝配技術(shù)。
1.試切法2.定尺寸刀具法,3調(diào)整法4.數(shù)控加工
超聲波發(fā)生器、超聲振動系統(tǒng)、機床、磨料工作液及其循環(huán)系統(tǒng)。應用型腔拋磨加工、超聲清洗、超聲波復合加工。