問答題

【簡答題】解釋什么是靜電釋放，并給出在硅片制造中由ESD引起的三種問題及ESD的三中控制方法。

答案： ESD是指靜電荷從一個物體向另一個物體末經(jīng)控制地轉移。
ESD的危害性：
會使硅表面形成電荷積累，吸...
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【簡答題】給出半導體制造中沾污及致命缺陷的定義。
答案： 沾污：是指半導體制造過程中引入到半導體硅片上的任何危害芯片成品率及電學性能的不希望有的物質。
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