油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

（）又稱“島式加工單元”。

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。