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【簡答題】氧化層在芯片制備中有哪幾方面的應用?
答案:
(1)保護器件免受劃傷和隔離污染
(2)限制帶電載流子場區(qū)隔離(表面鈍化)
(3)柵氧或儲存器單元結(jié)...
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答案:
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【簡答題】工藝用氣體通常分為哪兩類?
答案:
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