填空題

電子束加工是在（）條件下，利用聚焦后能量密度極高、（）對(duì)工件進(jìn)行加工的方法。

答案：真空；速度極高的電子

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三束加工是指（）、（）和（）。

答案：電子束；離子束；激光束

微小尺寸加工和一般尺寸加工的不同點(diǎn)是（）、（）、（）。

答案：精度的表示方法；微觀機(jī)理；加工特征