單項選擇題開車階段S1601使用精度是（）
A.2.5μm
B.50μm
C.250μm
D.10μm
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1.單項選擇題正常生產(chǎn)S1603使用精度是（）
A.2.5μm
B.50μm
C.250μm
D.10μm
2.單項選擇題T1605塔頂溫度（）
A.90-105℃
B.95-105℃
C.100-105℃