多項選擇題微觀表面三維形貌測量技術包括（）

A.原子力顯微鏡
B.光學焦點探測儀
C.掃描電子顯微鏡
D.探針輪廓儀


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1.多項選擇題傅里葉變換光柵投影表面三維形狀測量技術的優(yōu)點（）

A.可用于動態(tài)測量
B.速度快
C.測量精度相對較低
D.只需要一幀或兩幀條紋圖

2.單項選擇題基于光柵投影的光學表面三維形狀測量技術關鍵是（）

A.測量條紋間距
B.測量條紋寬度
C.解調出被測表面上各點的相位
D.測量條紋對比度

3.多項選擇題莫爾輪廓術是一種非接觸的三維物體形貌測量方法，主要包括（）

A.投影莫爾法
B.陰影莫爾法
C.掃描莫爾法
D.偏折莫爾法

5.多項選擇題單縫衍射測量的技術特性包括（）

A.測量量程較小
B.精度較高
C.測量量程較大
D.靈敏度高