UTM300B 泵的特點是什么（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。