（）又稱“島式加工單元”。

定期應該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

離子濺射泵的特點是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

應用在真空中的各式材料包括（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。