問答題

【簡(jiǎn)答題】試說明橫向擴(kuò)散以及橫向擴(kuò)散的主要影響。

答案： 實(shí)際擴(kuò)散過程中，雜質(zhì)除了進(jìn)行垂直于晶片表面進(jìn)行擴(kuò)散外，還有平行于表面的橫向擴(kuò)散。
橫向擴(kuò)散效應(yīng)：使擴(kuò)散區(qū)之間的...
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【簡(jiǎn)答題】什么是擴(kuò)散的相互作用？試舉一例說明其對(duì)半導(dǎo)體器件的制造有何影響及其產(chǎn)生的原因。
答案： 當(dāng)兩種不同的雜質(zhì)先后擴(kuò)入同一晶體內(nèi)，當(dāng)?shù)诙N雜質(zhì)擴(kuò)散時(shí)，第一種雜質(zhì)仍在繼續(xù)擴(kuò)散；第一種雜質(zhì)的后續(xù)擴(kuò)散、最終的分布和結(jié)深的...
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【簡(jiǎn)答題】說明氧化氣氛對(duì)擴(kuò)散有何影響及原因？
答案： 與中性氣氛相比，在熱氧化氣氛中進(jìn)行的擴(kuò)散，雜質(zhì)的擴(kuò)散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導(dǎo)致自間隙硅原子的產(chǎn)生，故對(duì)于硼，...
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