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壓力微傳感器廣泛應(yīng)用于汽車(chē)電子:如TPMS(輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng))、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車(chē)剎車(chē)系統(tǒng)等。
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壓阻式微傳感器是在單晶半導(dǎo)體膜片適當(dāng)部位擴(kuò)散形成力敏電阻而構(gòu)成的。
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