（）又稱“島式加工單元”。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

對(duì)于一些復(fù)雜的焊接任務(wù)，必須依靠焊接機(jī)器人與輔助設(shè)備作業(yè)過(guò)程中同步協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，這需要用到（）。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。