單項選擇題以下不屬于電子束加工的特點的是()。

A.能量密度很高
B.束斑極小
C.有污染


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1.單項選擇題離子束刻蝕應用的離子束加工過程中的()效應。

A.離子注入效應
B.濺射效應
C.離子沉積效應