與理想要素的比較原則;測(cè)量坐標(biāo)值原則;測(cè)量特征參數(shù)原則;測(cè)量跳動(dòng)原則;控制實(shí)效邊界原則。
比較法、針描法、光切法、干涉法、印模法。
封閉環(huán)、組成環(huán)、增環(huán)、減環(huán)、補(bǔ)償環(huán)。