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問答題

【簡答題】旋涂機手臂不動作如何處理？

答案：

（1）手臂做home回原點；關閉控制手臂空開，做home。
（2）關閉PLC，重新做原點。

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【簡答題】旋涂機手臂抓不住盤片如何處理？

答案：

（1）檢查手臂吸嘴是否正常；
（2）手臂位置是否正確；
（3）手臂真空是否正常。

【簡答題】7.0旋涂碗電機不轉有哪些原因？

答案：

（1）盤片吸真空不好；
（2）電機不轉，沒電或壞；
（3）電機驅動器故障。