（1）旋涂室內(nèi)的濕度、溫度； （2）染料的濃度； （3）下料量及擺臂位置、速度。
①調(diào)整洗邊正角壓力； ②調(diào)整下料閥； ③調(diào)整針頭與盤片的位置和角度； ④增大1段速度； ⑤增大二段時間； ⑥檢查Mask。
最新試題
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