問答題

【簡答題】簡述旋涂穩(wěn)定的控制。

答案： （1）、盡量少開旋涂室的門，控制溫濕度；
（2）、旋涂室的溫度應對外部環(huán)境略高些，基本為30℃。濕度為30%；...
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問答題

【簡答題】如何調(diào)整洗邊？
答案：

①調(diào)整洗邊正角壓力；
②調(diào)整下料閥；
③調(diào)整針頭與盤片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段時間；
⑥檢查Mask。
問答題

【簡答題】中孔不圓如何調(diào)整？
答案： 調(diào)整下料桿的長短，針頭傾斜角度，以及中孔下料位置。
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